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PVD系统

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FCVA100

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详情介绍

产品特色

．ta-C涂层专用机

．过滤式弯弧设备

．占地：W3590*D3100*H3400 mm

．腔体尺寸：525*482*H617 mm

．有效镀膜空间：D360*H100 mm

．6 轴(D125mm)公自转转座

．膜厚：0.1~1μm

．制程时间：2.5~3h

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