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产品特色
.ta-C涂层专用机
.过滤式弯弧设备
.占地:W3590*D3100*H3400 mm
.腔体尺寸:525*482*H617 mm
.有效镀膜空间:D360*H100 mm
.6 轴(D125mm)公自转转座
.膜厚:0.1~1μm
.制程时间:2.5~3h
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