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PVD系统

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高真空溅镀系统CF-SP01 (X、Z)
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详情介绍

产品特色

.高沉积速度,好的镀膜均匀度

.可安装溅镀枪3支

.可通入多组气体

.可增加偏压

.容易操作和维护

.全自动及机台稳定性高

.可依照客户需求

.可搭配等离子光谱分析仪做等离子强度分析及控制


可应用范围

.LED产业

.太阳能产业

.半导体产业

.学术研究


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