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产品特色
．可设置2组Sputter及2侧阴极电弧模组。
．整合PVD及PECVD系统技术，可以制备附着性极佳之Me/DLC复合镀层技术。
．可弹性应用于刀工具硬质膜层之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。
．可制备：TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等。
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