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产品特色
．整合系统可制备Me/DLC复合涂层。以Sputter系统制备具细致柱状结构之金属氮碳化物涂层并额外提供PECVD系统之平滑磨润之DLC膜层。
．Cr/CrN/DLC、Cr/WC:H/DLC(Ti系、Zr系等应用)。
．Cr/WC:H/DLC应用在不锈钢微整型模块，可增加约3倍寿命。
．具冲击、磨耗场合之应用零件，例：螺丝、螺帽、铆钉之冲棒、汽车零组件等。
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