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产品特色
．处理均匀性佳
．离子能量低、不损伤基板
．没有电极及基板的污染
．高密度等离子源
＊等离子效率高、清洁效率高
＊可控制低的离子能量
＊结合化学反应性及物理撞击性
．处理速度快、清洁效率高、可靠度高
．操作范围广
．可使用多种制程气体
．全自动且容易操作
．设备稳定高，容易维护
．可依客户需求作更改
可应用范围
．残余光阻去除
．PSS 来料清洁制程
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