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产品特色
．高密度等离子源，等离子效率高，减少制程时间
．特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计
．处理之均匀性佳
．等离子均匀性佳
．可使用多种制程气体
．全自动且容易操作
．设备稳定高，容易维护
．可根据客户需求设计专用特殊规格之机台
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