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产品功能
等离子光谱分析仪为非侵入式的等离子分析仪器，能够进行等离子的监控及分析制程中等离子元素特性，帮助提升制程的监控性并提供制程后续分析能力。
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产品特色
．真空内置式侦测头
．防镀膜组
．能观测特定波长
．能控制流量计
．能扩充至4组流量计控制
．等离子光谱成分后续分析功能
．客制化
可应用范围
．LED 产业
．太阳能产业
．半导体产业
．光电产业
．等离子镀膜产业
．等离子处理系统
．光学产业
．学术研究
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