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真空等离子清洗设备采用低压激发等离子体作为清洗介质,有效避免了液体清洗介质对被清洗物体的二次污染。真空等离子清洗设备配有机械真空泵,可通过真空泵将等离子体反应后的污染物抽出,同时保持腔体的真空度。因此...
等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成:控制单元、真空腔体以及真空泵。等离子体的...