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PVD系统

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上海PVD PVN500-C
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详情介绍

产品特色

.纳米复合硬质涂层设备

.采阴极电弧镀膜技术,可安装4~8组6吋圆形阴极弧源

.圆形靶靶材利用率高

.真空零配件均采进口元件

.特殊几何形状档板(遮蔽靶源)

.系统采夹层式水路冷却;八边形不锈钢腔体

.搭载4 组Heater,可均匀升温至450℃

.搭载超高真空涡轮帮浦

. 8轴3层公自转机构,产能大且膜层均匀

.置具台车方便Loading /Unloading生产,提供生产效率

.全自动化镀膜生产,可远端网路诊断及程式除错

.可镀膜种类:TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…


可应用范围

.铣削、车削、钻孔、攻牙之刀工具

成型、冲压之模具


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