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产品特色

.感应耦合高密度等离子系统(ICP System)

.等离子辅助化学气相沉积系统(PECVD)

.溅镀系统(Sputtering System)

.离子披覆系统(Ion-Plating System)

.电弧离子镀膜系统(Arc Ion-Plating System)

.化学气相沉积系统(CVD)

.热蒸镀系统(Thermal Evaporation)

.电子枪蒸镀系统(E-gun Evaporation )


可应用范围

等离子处理系统如表面处理及表面改质

应用在各式镀膜如光学多层薄膜、超硬耐磨耗薄膜(DLC、TiN、TiC等)


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