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真空电性量测系统

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多功能型真空电性量测系统MVEM001

产品功能

.多探针真空量测: 可选配2至4组可微调探针座,电缆接头可选择BNC或triaxial等形式。样品载台直径可至2英寸,腔体真空度可选择一般真空度(5×10-3 Torr)以及高真空(1×10-6 Torr)。探针X-Y-Z三方向微调,行程:6.5 mm,定位精度:10 μm。并搭配CCD进行下针及微调。

.In situ等离子处理装置: 特殊探针收回机构设计,多次量测之间可进行等离子处理程序,针对样品进行表面等离子改质/清洁,不须破真空使得量测样品接触大气而产生影响。可选配RF/DC/MF generator。

.光感测: 腔体上方透明视窗采用石英玻璃,可搭配光学系统进行光感测元件之量测。

.特定气体感测: 特定气体可透过质流控制器(Mass flow controller, MFC)或浮子流量计进行流量控制。

.湿气感测、有机蒸气感测: 可选配特殊液态蒸气导入装置设计,可控制导入腔体之蒸气流量,进而换算液态蒸气之感测浓度。

.低温量测(300K~20K): 选配闭循环低温制冷系统,可达20K之低温环境,并透过PID系统进行连续式控温。高温选配需求可达500K、低温选配需求可达10K。


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详情介绍

产品特色

提供真空量测系统相关进阶功能之解决方案,整合常见之真空量测所需功能:真空量测、特定气氛感测、湿度感测、有机蒸气感测、光感测(需额外搭配光学系统如雷射、光谱仪等)、高低温变温量测、真空等离子处理。内部各项配件均可客制化设计。


可应用范围

固态半导体电子元件、次微米/奈米元件之电性量测、微电子元件量测(photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.)、四点探针量测(4 points measurement)。


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