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直流电源供应器

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直流等离子电源系统 DCPS系列

产品功能

.符合等离子特性的电气规格

.具备定功率,定电压,定电流

.内建电弧保护功能

.内建过电压,过电流,过热,过载等保护功能

.可用于单双火线的等离子系统

. PLC 使用者介面相容于AE-Pinnacle 或ADL-GSW (择一)


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详情介绍

产品特色

.数位控制系统

.设定范围广

.高等离子密度

.可客制化洽询


可应用范围

.真空镀膜制程之清洗处理

.等离子辅助化学沉积制程

.等离子辅助溅镀制程


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