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CVD系统

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TiN, TiC, TiCN镀膜(Thermal CVD)

产品功能

.近期发展起来的薄膜制备方法。采高温热分解前驱气体,通过调节前驱体组分对比和温度,而获得大面积高质量沉积膜。

.系利用气态物质在固体表面进行反应生成固态沉积物的过程,是一种在高温下利用热能进行热分解和热化合的沉积技术。


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详情介绍

产品特色

.常压或低压下沉积。

.镀层化学成分可调,可获得梯度沉积物或混合镀层。

.密度、纯度可调。

.绕镀性佳,可在复杂基材及颗粒材料上沉积,如:带槽、沟、孔或盲孔的工件。

.可镀厚(10~20μm)。

.附着性佳。


可应用范围

• 刀具:车刀片、螺纹刀具、铣刀。

• 模具:(线材)拉伸模具、锻造模、冲压工具、剪切模具、挤型模具、铸币模具、压接工具、弯管模具。


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