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PVD系统

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FCVA100
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产品特色

.ta-C涂层专用机

.过滤式弯弧设备

.占地:W3590*D3100*H3400 mm

.腔体尺寸:525*482*H617 mm

.有效镀膜空间:D360*H100 mm

.6 轴(D125mm)公自转转座

.膜厚:0.1~1μm

.制程时间:2.5~3h


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