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卷对卷(R2R)

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杭州真空R2R等离子设备

产品功能

可进行去胶渣、表面清洁、活化、改善、接枝或粗糙化等


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详情介绍

产品特色

.高密度等离子源,等离子效率高,减少制程时间

.特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计

.处理之均匀性佳

.等离子均匀性佳

.可使用多种制程气体

.全自动且容易操作

.设备稳定高,容易维护

.可根据客户需求设计专用特殊规格之机台


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