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等离子光谱分析仪

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杭州等离子光谱分析仪 (OES)

产品功能

等离子光谱分析仪为非侵入式的等离子分析仪器,能够进行等离子的监控及分析制程中等离子元素特性,帮助提升制程的监控性并提供制程后续分析能力。


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详情介绍

产品特色

.真空内置式侦测头

.防镀膜组

.能观测特定波长

.能控制流量计

.能扩充至4组流量计控制

.等离子光谱成分后续分析功能

.客制化


可应用范围

.LED 产业

.太阳能产业

.半导体产业

.光电产业

.等离子镀膜产业

.等离子处理系统

.光学产业

.学术研究


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