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PVD & PECVD Complex系統

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杭州Hybrid 500 - 4A2S
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详情介绍

产品特色

.可设置2组Sputter及2侧阴极电弧模组。

.整合PVD及PECVD系统技术,可以制备附着性极佳之Me/DLC复合镀层技术。

.可弹性应用于刀工具硬质膜层之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。

.可制备:TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等。


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