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真空等离子清洗设备采用低压激发等离子体作为清洗介质,有效避免了液体清洗介质对被清洗物体的二次污染。真空等离子清洗设备配有机械真空泵,可通过真空泵将等离子体反应后的污染物抽出,同时保持腔体的真空度。因此...
等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成:控制单元、真空腔体以及真空泵。等离子体的...
真空等离子清洗机具有性能稳定、性价比高、操作简单、使用成本低、易于维护的特点,对金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料及其他具有各种几何形状和不同表面粗糙度的物体表面进行超研磨和改性,去除样品表面的有机污染物。...