等离子干法刻蚀机

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摘要

产品型号:PI01
适用于太阳能电池制程,对太阳能矽晶片之边缘做刻蚀

产品介绍

等离子干法刻蚀机

.专利设计之特殊等离子电极 

.高密度等离子源 

.处理速度快,产能高,可靠度高 

.操作范围广 

.全自动且容易操作 

.设备稳定度高,容易维护 

.可依客户需求作更改


应用行业:

.太阳能电池 

.太阳能矽晶片边缘做刻蚀



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