大气等离子清洗设备

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摘要

产品型号：SAP003
．各式材料之表面清洁、活化或改质 
．增加黏着或附着性 
．提升组件封装、黏着或印刷之可靠度 
．操作简单，可调整等离子功率、处理距离、清洁速度及气体种类等  
．可清洁物品材质: 玻璃、塑料、金属、陶瓷、橡胶等

产品介绍

．多项专利设计　　

．清洁效能优异、处理速度快　　

．多种喷头选择，清洁范围３～３０ｍｍ　　

．可使用气体：Ｎ２、ＣＤＡ（Ａｉｒ）、Ａｒ、Ｏ２等气体　

．不需暖机，可随时启动及停止　

．可ｉｎ－ｌｉｎｅ或ｏｆｆ－ｌｉｎｅ操作　　

．操作成本低　　

．无污染　　

．无静电残留　

．无ａｒｃ　　　

．体积小，容易安装及维护　

．可依据客户需求作修改

应用产业：

．ＳＴＮ－ＬＣＤ、ＴＦＴ－ＬＣＤ、ＯＬＥＤ或ＰＤＰ之ＣＯＧ或ＯＬＢ制程前的ＩＴＯ电极表面清洁　　

．ＣＯＦ　（ＩＬＢ）　或ＣＯＢ制程的电极表面清洁　　

．ＬＣＤ或ＯＬＥＤ的玻璃清洁　　

．ＩＣ封装（Ｆｌｉｐ　Ｃｈｉｐ，　ＣＳＰ，　ＢＧＡ，　ＴＣＰ，　ｏｒ　Ｌｅａｄ　Ｆｒａｍｅ，　ｅｔｃ．）或ＬＥＤ封装的表面清洁或改质　　

．ＰＣＢ之表面清洁、活化、改质或去残胶　　

．　晶圆之表面清洁或去光阻　　

．　工业电子组件之表面清洁、活化或改质　　

．　印刷或黏着前之表面粗化或清洁　　

．　镀膜、去光阻及蚀刻