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PVD & PECVD Complex系统

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Me/DLC镀膜
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详情介绍

产品特色

.整合系统可制备Me/DLC复合涂层。以Sputter系统制备具细致柱状结构之金属氮碳化物涂层并额外提供PECVD系统之平滑磨润之DLC膜层。

.Cr/CrN/DLC、Cr/WC:H/DLC(Ti系、Zr系等应用)。

.Cr/WC:H/DLC应用在不锈钢微整型模块,可增加约3倍寿命。

.具冲击、磨耗场合之应用零件,例:螺丝、螺帽、铆钉之冲棒、汽车零组件等。


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